ニコン精機カンパニー、「Ｇ４５０Ｃ」から受注／ＡｒＦ液浸露光装置で

このエントリーをはてなブックマークに追加

　相模原市南区に開発製造拠点を持つニコン・精機カンパニーは、４５０ミリメートルウエハーによる半導体デバイスの実用化を目指す国際コンソーシアム「Ｇ４５０Ｃ」から、４５０ミリメートルウエハー対応ＡｒＦ（フッ化アルゴン）液浸露光装置を受注したと発表した。

　受注額は明らかにしていないが、３００億～４００億円程度とみられる。２０１５年４月の出荷を予定している。ニコンは今年１月、米インテルからも同装置計４台の受注に成功している。

　今回の露光装置は米ＩＢＭなどＧ４５０Ｃの会員企業によって、プロセス開発や評価、デモンストレーションなどに使用される。

　ニコンもコンソーシアムの拠点がある米国にエンジニアを派遣して、リソグラフィー関連のソリューションを提供する。（２０１３年７月２０日号３面掲載）
　

…続きはご購読の上、紙面でどうぞ。