ニコン、液浸スキャナー発売／10ナノメートル台の量産対応

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　相模原市内に製造拠点を持つニコンは、最新型 ArＦ（フッ化アルゴン）液浸スキャナー「ＮＳＲ―Ｓ６３０Ｄ」の受注を４月から開始すると発表した。
　既存機種の精度と生産性をさらに向上させ、マルチプルパターニングと呼ばれる10ナノメートル台のプロセス量産に対応した。
　半導体の高集積化・微細化が進む中、顧客の間に強まる最先端デバイス生産ラインでの安定的な量産ニーズに応える。
　新機種は、投影レンズ性能の向上とレチクルステージ位置計測のエンコーダ化、温空調システムの改良などで同一機種間の重ね合わせ精度（ＭＭＯ）を従来の２・０ナノメートル以下から１・７ナノメートル以下へと高めた。
　計測用の顕微鏡も１眼から５眼化に増やすことで高スループット化を図った。（２０１４年３月１日号掲載）

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